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堅膜烘箱，氮?dú)鈭阅ず嫦湓谛酒に囍械挠猛?/div>
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2023-09-14 | 719 次瀏覽 | 分享到:
堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅膜烘箱，氮?dú)鈭阅ず嫦涞挠猛?/span>

       堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。 其的主要作用是除去光刻膠中剩余的溶劑,增強(qiáng)光刻膠對硅片表面的附著力,同時提高光刻膠在刻蝕和離子注人過程中的抗蝕性和保護(hù)能力。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅膜烘箱，氮?dú)鈭阅ず嫦浼夹g(shù)性能：

       通過堅膜,光刻膠的附著力會得到提高,這是由于除掉了光刻膠中的溶劑,同時也是熱融效應(yīng)作用的結(jié)果,因?yàn)闊崛谛?yīng)可以使光刻膠與硅片之間的接觸面積達(dá)到最大。較高的堅膜溫度可使堅膜后光刻膠中的溶劑含量更少,但增加了去膠時的困難。     

溫度范圍：RT～250℃；
均勻度：±2%℃;    

溫度波動度：±0.5℃（空載）        
溫控精度：±0.1℃;   

潔凈度：Class100; 

計時范圍：99H99M；   

氣體氛圍：N2；

內(nèi)部尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

600×700×800（可定制）